平凉高纯氩气厂家

2023-04-13  来自: 甘肃利翔氢能特种气体科技有限公司 浏览次数:82

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平凉高纯氩气厂家,高纯气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色,特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业,凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业,皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程,其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体,而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响,气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。对于特殊高纯气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。


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高纯气体系统对于不同特性的气体,应规划独立的供应区域。一般分为三个区腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置于毒性/腐蚀性气体区。高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头予以连接,常用的接头方式有两种分别为VCR和进口件采用优良的金属垫,利用纵向压力压紧,因此泄漏率低,约为10~9A cc/s,且耐压较高,常用于气体杂质含量0×级的高纯气输送系统,而进口件则不如VCR,耐压较低,基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。


高纯气体针型阀形比其他类型的阀门能够耐受更大的压力,密封性能好,所以一般用于较小流量较高压力的气体密封.针型阀与压力表配合使用是较合适的了.一般的针型阀形都做成螺纹连接。高纯气体的配管技术,是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等;是高纯气体供应系统的重要组成部分;是保证高纯气体安全稳定地输送到用气点,且符合设备使用要求的关键技术。安装高纯气体时应注意采购气体钢瓶,用气体钢瓶供气。某个项目,采用何种方式 ,主要根据公司项目的生产规模及气体耗量,和工厂所在城市的气体市场供应等经过技术经济比较后确定。 现场制做气,管道输送供气方式。外购液态气体,气化后管道输送供气方式。


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