甘肃高纯气体输配管道选材的原则你知道几点,快来看看吧

2021-08-07  来自: 甘肃利翔氢能特种气体科技有限公司 浏览次数:295

  所有甘肃高纯气体通过管道输送到设备用点(POU),为了满足技术对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,重视管道系统的材料选择和施工质量。除了制气和净化设备的精度外,受管道系统多种因素的影响很大,因此管材的选择应遵守相关行业原则,在图纸上明确记载管道材质。

  管道材质根据使用需求进行选择,工艺用的反应气体选择316LEP管,经电解抛光处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximumpeaktoveyheight)约0.3μm以下,其值远低于烧结处理的316LBA管的0.8μm,平坦度越高越不易形成微涡流,从而带出污染粒子。

  316LBA管常用于与芯片接触但不参与工艺反应的气体,如GN2和CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带的可能性就越大。另一种未经特殊处理的AP管,用于不作为供气管道的双套外管。甘肃高纯气体

  目前,国内清洁管道参考标准较少。通常,除了参考清洁现场设计规范、氢站设计规范、氢氧站设计规范、压缩空气设计规范等技术行业的技术规范外,业内常用的材料和管道一般参考通用的行业标准。

  半导体行业线的宽度越小,对气体纯度、粒度、杂质含量的要求也越高。表1是各线宽下对超纯氮的要求。

  1、高纯氮(PN2):系统管采用内壁电解研磨(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

  2、氮(N2):系统管道采用内壁电解研磨(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀采用相同材质的波纹管阀或球阀。

  3、高纯氢(PH2)氢(H2):系统管采用内壁电解研磨(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

  4、氩气(Ar):系统管采用内壁电解研磨(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

  5、氦(He):系统管采用内壁电解研磨(EP)低碳(316L不锈钢管)阀采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

  6、特气系统:必要的是外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解研磨(EP),阀采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

  7、压缩空气(CDA):系统管道采用明亮的退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的球阀(要求低的公司也采用铜管,根据技术要求决定)。

  对于特殊气体,甘肃高纯气体品种多,有毒有害气体多,原本是一台一气箱,高装备组合和维护费用大幅度增加投资成本,也有配置在技术之间,存在泄漏的安全危险。目前,集中供气系统广泛应用,气箱集中,自控系统不断,其报警、淋浴、切换、清扫成熟,特殊气间也与技术间隔离,对房间有防爆要求,工作安全性大幅提高。